沈阳科仪高真空电子東及热阻薄膜沉积系统 真空室结构:U形前开门 真空室尺寸:500x500x600mm 极限真空度:≤6.67E-5Pa 沉积源:4个11cc坩埚 样品尺寸，温度:φ4英寸，1片，最高800C 占地面积(长x宽x高):约2.7米x1.7米x2.1米 电控描述:全自动 工艺:片内膜厚均匀性:≤+3% 特色参数:样品可自转，转速可调

沈阳科仪高真空磁控溅射薄膜沉积系统--PVD500 真空室结构:方形前开门 真空室尺寸:p500x500x500mm 极限真空度:≤3.0E-5Pa 沉积源:永磁靶4套，2英寸 样品尺寸，温度:p4英寸，1片，最高800°C 占地面积(长x宽x高):约2米x1.7米x2米 电控描述:全自动 工艺:片内膜厚均匀性:≤3%

沈阳科仪高真空磁控溅射薄膜沉积系统--TRP450 真空室结构:圆筒形前开门 真空室尺寸:φ450x400mm 极限真空度:≤6.6E-6Pa 沉积源:永磁靶3套，2英寸，可以向上溅射或向下溅射。 样品尺寸，温度:φ4英寸，1片，最高800C 占地面积(长x宽x高):约1米x1.8米x2米 电控描述:全自动 工艺:片内膜厚均匀性:≤3%

CT3001A微电流电池测试系统产品特点：可用于锂电池及超级电容测试等。模块化设计，每个模块为独立的8个通道

CT3001B 大电流电池测试系统产品特点：可用于动力电池及动力电池组的化成、分容、检测等。模块化设计，每个模块为独立的1—8个通道。

CT3001D大电流电池测试系统,可用于动力电池及动力电池组的化成、分容、检测等。