VTC-100PA真空旋转涂膜机适用于半导体、晶体、光盘、制版等表面涂覆工艺。本机可用于强酸、强碱性涂覆溶液的涂膜制备。
产品分类
VTC-100PA真空旋转涂膜机
产品概述:
VTC-100PA真空旋转涂膜机适用于半导体、晶体、光盘、制版等表面涂覆工艺。本机可用于强酸、强碱性涂覆溶液的涂膜制备。
主要特点:
参数:
进气口:上盖有一个直径6mm的进气口可将需要的气体通入腔体,实现在气氛环境下旋转涂覆
可选加热部分:上盖内部增加红外灯管加热,采用K型热偶测温,数字温控器控温,高120℃,可使得样品涂覆后原位烘干,用于薄膜太阳能电池等研究。
产品规格: