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北京格微磁控离子溅射仪微处理器控制，程序化数字控制；低电压平面磁控管，环绕暗区保护罩；冷溅射，样品无温升或热变形；特殊密封结构，玻璃不易损坏；内置操作向导，无需培训即可熟练操作 -
北京格微全自动离子溅射仪全自动控制，无需调整针阀；结构，靶材更换非常简单；特殊密封结构，玻璃不易损伤；结构，样品台高度调整方便；内置操作向导，无需培训即可熟练 操作
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