产品简介

沈阳科仪高真空电子東蒸发薄膜沉积系统--EB700

真空室结构: U形前开门

真空室尺寸:700x700x900mm

极限真空度:≤6.6E-5Pa

沉积源:6个40cc坩埚

样品尺寸，温度:4英寸，26片，最高300℃C

占地面积(长x宽x高):约3.2米x3.9米x2.1米

工艺:片内膜厚均匀性:≤3%

特色参数: 工件架有拱形基片架和行星形基片架:可根据用户基片尺

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